Mikromechanik
Im Bereich der Mikromechanik konnte in den letzten Jahren ein unübersehbarer Entwicklungssprung beobachtet werden.
Dieses Teilgebiet der Mikrotechnologie beschäftigt sich mit dem Entwurf, der Herstellung und Anwendung dreidimensionaler Strukturen und Systeme im Mikrometerbereich.
Man unterscheidet einfache Strukturen (z. B. Gitter, Löcher, Kanäle), Sensoren, Aktoren (z. B. Relais, Schalter, Ventile, Pumpen) und Mikrosysteme (Mikromotoren, Druckköpfe). Zur Herstellung werden unter anderem Methoden eingesetzt, die auch in der Mikrochip-Fertigung zum Einsatz kommen (z.B. galvanische Verfahren, Lasertechnik), oder aber auch hochpräzise mechanische Verfahren (z.B. Mikrozerspanung, Mikrodrehen).
Zu den bereits realisierten mikromechanischen Systemen zählen elektromechanische Schalter für Höchstfrequenzanwendungen, mechanisch abstimmbare Kondensatoren, Beschleunigungssensoren (z. B. zum Auslösen von Airbags) und Drehratensensoren (Rotationssensoren, Gyroskope) die in Navigationssystemen oder Fahrerassistenzsystemen zum Einsatz kommen.
In der Vergangenheit konnten bereits zahlreiche Errungenschaften realisiert werden, und auch diese Technologie verspricht revolutionäre Erfolge für die Zukunft.
Piezomotor: Motion by Vibration
Durch einen Piezo werden Mikroschwingungen im Alurahmen dieses ELLIPTEC-Motors erzeugt. Die Schwingungen bilden sich bei ca. 80kHz zu einer Ellipse aus, die ein gegen die Spitze gedrücktes Rad in feinsten Schritten in beide Richtungen antreiben (bis 300mm/s) können. Die Simulation zeigt die Mikroschwingungen des Motors stark übertrieben, um den elliptischen Antriebseffekt zu demonstrieren.
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